簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chun-Hui Chung".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="摩擦係數"


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    藍寶石晶圓拋光加工之摩擦力與拋光墊機械性質分析研究
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 黃星豪 指導教授: 陳炤彰
    • 近年來由於環保意識抬頭,可達節能減碳目的之LED照明因此快速發展,做為LED照明鍍膜基板的單晶藍寶石晶圓也因此受到重視及探討。然而,單晶藍寶石晶圓為硬度相當高(莫氏硬度9)之硬脆材料,其平坦化之加工…
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